Piezorezisztív gyorsulásmérő

A piezorezisztív gyorsulásmérő magja a piezorezisztív hatás. Mikromegmunkált konzolos gerendát vagy félvezető anyagokból, például szilíciumból készült próbatömeget használ. Amikor a gyorsulásmérő gyorsulást tapasztal, a tehetetlenségi erő a próbatömeg deformálódását okozza. Ez a deformáció megnyújtja vagy összenyomja a gerendához rögzített piezorezisztív anyagot, ami az elektromos ellenállás változásához vezet. Ennek az ellenállás-változásnak a mérésével (jellemzően Wheatstone hídáramkör használatával) pontosan kiszámítható a gyorsulás nagysága.

Egyedülálló működési elvüknek köszönhetően a piezorezisztív gyorsulásmérők nagy érzékenységet, széles mérési tartományt, robusztus szerkezetet és nagy{0}}frekvencia-választ kínálnak. Általában azonban nagyobb az energiafogyasztásuk, és érzékenyek a hőmérsékletre (hőmérséklet-kompenzációt igényel).

Ezen jellemzők alapján alkalmazásaik elsősorban azokra a mezőkre összpontosítanak, amelyek nagy-frekvenciás, nagy-hatású (magas-g), dinamikus események mérését igénylik.