Kerámia kapacitív abszolút nyomásérzékelő

A kerámia kapacitív abszolút nyomásérzékelő egy olyan típusú érzékelő, amely alumínium-oxid kerámiát használ magjaként, és a kapacitás változásainak érzékelésével méri a nyomást az abszolút vákuum referenciapontjához képest.

 

Egyszerűen fogalmazva, ez egy "változtatható kondenzátor", amely közvetlenül átalakítja a nyomást a kapacitás változásává, és referenciaüregét vákuum alatt hermetikusan lezárják.

Alapeleme egy kerámia kapacitív érzékelőmag, amelyet jellemzően több-rétegű együttégetési technológiával{1}} gyártanak:

Szerkezet:Kerámia szubsztrátumból áll, rögzített elektródával és kerámia vékony filmből (membrán), amely mozgatható elektródaként működik, és magas hőmérsékleten üvegfrittel van összekötve.

A ragasztás után rendkívül kicsi, hermetikusan záródó vákuum-referenciaüreg alakul ki közöttük. Ez a kulcs az abszolút nyomásmérés eléréséhez.

Ez a szerkezet párhuzamos{0}}lemezkondenzátort alkot:

• 1. tábla: A rögzített alsó elektróda (a kerámia hordozóra nyomtatva).
• 2. tábla: A mozgatható felső elektróda (maga a kerámia membrán, általában fémezett).
• Dielektromos: Vákuum (a referencia üreg belsejében) és kerámia.

• Kezdeti állapot:Abszolút vákuum alatt a kerámia membrán deformálatlan, és a kapacitás értéke egy kezdeti érték, C₀.
• Alkalmazott nyomás:Amikor külső nyomás (abszolút nyomás) hat a kerámia membrán külső oldalára, a membrán enyhe hajlítási deformáción megy keresztül a vákuum referenciaürege felé.
• Kapacitás változás:Ez a deformáció a két kondenzátorlemez közötti távolság csökkenését okozza.
  A párhuzamos -lemezkondenzátor C=εA/d képlete szerint (ahol ε a permittivitás, A pedig a relatív lemezterület), a távolság csökkenése a C kapacitásérték növekedését eredményezi.

• Jel mérés:Egy ezt követő dedikált áramkör (általában egy ASIC - Application-Specific Integrated Circuit) érzékeli ezt a percnyi kapacitásváltozást, átalakítja, felerősíti és linearizálja, végül pedig az abszolút nyomással arányos szabványos jelet (például feszültséget vagy digitális jelet) ad ki.

Népszerű tags: kerámia kapacitív abszolút nyomásérzékelő, Kína kerámia kapacitív abszolút nyomásérzékelő beszállítói, Dinamikus nyomásmérés, Erő- és nyomásérzékelő, MEM-ek és érzékelők, Kapcsoló érzékelő, Nyomásérzékelő, Statikus nyomásérzékelő